使用臺式X熒光光譜儀進行樣品的檢測過程中，會存在一定的干擾問題，那這些干擾都有哪些，讓我們儀器來看一看。
1.在X射線熒光光譜儀的分析中，某些元素的譜線可能全部或部分重疊。基本參數方程要求使用不受線重疊影響的凈強度。
2.在X射線光譜儀的分析中，某些元素之間可能存在元素間干擾或基體效應。補償這些影響的經驗方法是制備一系列濃度范圍覆蓋此分析范圍的校準標準曲線。這時，我們需要仔細設計參考物料。也就是說，所有不需要分析的元素的含量是固定的，但是要分析的元素的濃度是不同的，這叫做基體匹配。當然，在X射線熒光光譜儀的分析中，可以用數學方法來補償元素或基體之間的影響。
3.干擾也可能來自康普頓譜線或X射線管中靶材所產生的特征曲線，可以用濾輪去除，但是會在一定程度上降低分析譜線強度。
4.在X射線熒光光譜儀的分析中，由于目標元素的密度受樣品的質量吸收系數的影響，干擾也可能來自金相組織的誤差，數學模型假設材料是均勻的，這會導致誤差。例如，在含有碳和碳化物的鋼中，鈦和鎳可能以鈦鎳碳化物的形式存在。與鐵相比，鈦的K-a光譜具有較低的質量吸收系數，且鈦的密度比鐵的高。
5.對于X射線熒光光譜儀而言，分析偏差是由于樣品的固相注射性質和表面性質與標準樣品不同而引起的。
總之，樣品與標準樣品的差異越大，誤差越大。所謂差異包括：基體材料的物理化學性質，如上述密度、結構、成分和濃度、表面狀況，甚至試樣中待測元素的含量是否在標樣范圍內、各試樣的位置等，這些都會影響分析結果的準確性。