利用原級X射線光子或其他微觀粒子激發待測物質中的原子，使其產生熒光（次級X射線），進而開展物質成分分析與化學態研究的方法，便是X射線熒光光譜分析法。在成分分析領域，它已成為現代常規分析的重要手段之一。
熒光X射線分析儀依據性能和應用范圍，有著不同的分類。實驗室中常用的是X射線熒光光譜儀和能譜儀，它們能提供精準詳細的分析數據；小型便攜式X射線熒光分析儀便于攜帶，適合野外和現場分析；工業上也有專門適配的儀器，滿足不同場景需求。
在定性和半定量分析方面，該方法優勢顯著。其譜線簡單，分析過程不破壞樣品，基體的吸收和增強效應較易克服，操作簡便且測定迅速。野外和現場分析時，便攜式X射線熒光分析儀就能發揮作用，快速獲取物質的主次成分信息。若在室內使用X射線能譜儀，還能一次在熒光屏上顯示全譜，讓物質成分一目了然。
定量分析分為實驗校正法和數學校正法，二者都基于分析元素的X射線熒光強度與含量存在定量關系。70年代前，數學校正法發展較慢，主要應用于組成簡單的物料，實驗校正法更為常用，像外標法、內標法等多種方法各有適用場景。70年代后，隨著X射線熒光分析理論和方法的深入發展，以及儀器自動化和計算機化程度的提高，數學校正法得到廣泛應用，包括經驗系數法、基本參數法等。這些方法能有效計算和校正基體的吸收和增強效應對分析結果的影響，還能處理譜線干擾和計數死時間問題。除基本參數法外，其他方法大多迅速方便且準確度高，在眾多領域中，無論是少量還是常量元素分析，結果都能與經典化學分析法相媲美，因此和原子吸收光譜法、等離子體光譜分析法一起，成為儀器分析的主要手段。
X射線熒光光譜分析法憑借多樣儀器類型、獨特分析優勢以及不斷發展的定量方法，在物質分析領域站穩腳跟，與多種經典方法并駕齊驅，未來必將持續綻放光彩，助力科研與生產邁向新高度。